Почему белый электрокорунд можно использовать для шлифования и полирования стружки?

Почему белый электрокорунд можно использовать для шлифования и полирования чипов?
Белый электрокорунд также называют белым корундом, белым оксидом алюминия, который обладает такими характеристиками, как высокая твердость, хорошее самозатачивание, стойкость к кислотной и щелочной коррозии, высокая термостойкость и стабильные тепловые характеристики.
В качестве основного материала для шлифования и полирования чипов белый электрокорунд в основном основан на его уникальных физических и химических свойствах, которые идеально соответствуют строгим требованиям производства чипов для высокой точности и низкого загрязнения:
1. Преимущества физических характеристик
Сверхвысокая твердость и прецизионная резка
Твердость по Моосу белого электрокорунда составляет выше 9,0 (ниже только алмаза и карбида кремния ), частицы острые и самозатачивающиеся (автоматическая обрезка во время шлифования сохраняет кромку острой), что может эффективно удалять неровности на микронном уровне на поверхности кремниевых пластин и достигать плоскостности поверхности на атомном уровне.
Однородность и стабильность размера частиц.
Размер частиц микропорошка контролируется традиционным процессом классификации перелива, а распределение является равномерным и концентрированным, что гарантирует равномерное распределение давления шлифования, избегая царапин или ямок, а также обеспечивая чистоту поверхности и размерную точность чипа.
Отличная термостабильность
. Сохраняет стабильные физические свойства в условиях высоких температур, значительно снижает риск теплового расширения в процессе шлифования и защищает структуру чипа от термического повреждения.
2. Химические свойства гарантируют
высокую чистоту и химическую инертность.
Основным компонентом белого плавленого оксида алюминия является α-оксид алюминия (чистота> 99%), который практически не содержит металлических примесей, таких как железо (чрезвычайно низкое содержание железа), и не вступает в химическую реакцию с кремниевыми пластинами во время шлифования, полностью избегая загрязнения или окисления поверхности чипа.
Экологическая безопасность.
Отсутствие радиоактивного загрязнения, в соответствии со строгими стандартами производства полупроводников по безопасности материалов.
3. Адаптация к процессу производства микросхем.
Основные компоненты полировальной жидкости.
Микропорошок белого электрокорунда используется в качестве основного абразива в полировальной жидкости. Он обеспечивает выравнивание кремниевых пластин на наноуровне посредством влажной полировки, отвечая строгим требованиям к плоскостности поверхности при укладке микросхем.
Универсальность применения.
Совместимость с различными процессами, такими как сухое шлифование, мокрое шлифование, химико-механическое полирование (ХМП), и гибкая адаптация к требованиям шлифования на различных этапах производства микросхем.
4. Преимущества перед другими материалами.
По сравнению с карбидом кремния (немного более низкой химической стабильностью) или обычным глиноземом (немного более низкой чистотой), белый электрокорунд незаменим по чистоте, однородности твёрдости и химической инертности, и особенно подходит для производства полупроводников с крайне низкой толерантностью к примесям.
‌Краткое содержание‌
Белый электрокорунд отличается сверхвысокой твёрдостью и самозатачиванием для обеспечения эффективности шлифования, контролем размера частиц на наноуровне и термостабильностью для достижения точности обработки, а также 99% чистотой и химической инертностью для предотвращения загрязнения, что делает его незаменимым материалом для шлифования и полирования стружки. Его применение в жидкости для полирования полупроводников напрямую способствует миниатюризации и разработке высокопроизводительных современных микросхем.